流量測量技術之(zhī) 微小流量 的測量     
半(bàn)導體制造業、生物(wù)工程、精細化工等(děng)的興起，使流量測(cè)📧量向低🌂端延伸，小(xiǎo)流量計流量的要(yao)求在上世😄紀 80 ∽ 90 年代凸顯起(qǐ)來。何謂小流量 ? 業界尚無*的定(ding)義和界限，小流量(liàng)因應用領域而異(yi)是一個模糊的概(gài)念。管道小流量測(cè)量體現于管徑小(xiao)和💛流速低兩個層(céng)次，就流程工業而(er)言，習慣上 DN10 甚(shèn)至 DN15 以下管徑(jìng)流量測量稱之小(xiao)流量測量，通常其(qí)流量值液體爲 1L/min 或 0.06m3/h 以下，流(liú)量儀表滿度流量(liang)時的流速低于 0.1m/s 。
1 、測量方法(fa)
傳統小流量(liang)測量技術節流差(cha)壓 ( 層流 ) 法、浮子法和容積(jī)法等有了的改進(jìn)，新測量技術如超(chāo)聲🔴法、熱法、科裏奧(ào)利法等也有成效(xiao)地應于液體和氣(qì)體小流量測量。
2 、特點
微小(xiao)流量與一般流量(liang)測量相比較，具有(you)以下特點。
1) 雷(lei)諾數低
一般(bān)管道流動均爲紊(wěn)流流動，流量儀表(biao)也是針對紊流流(liu)動态設計的，而小(xiǎo)流量儀表因管徑(jìng)小常處于層流流(liú)動 ( 例如管内(nei)徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或層(ceng)流 / 紊流過渡(dù)區流态流動，小流(liú)量測量受使用中(zhōng)流體黏度變化影(ying)📞響頗大。
2) 要用(yòng)實際使用流體校(xiào)準
液體流量(liang)儀表一般用水校(xiào)準，氣體用空氣校(xiao)準。若知道實際測(ce)量流體與校準流(liu)體間某些物性不(bu)同❤️對示值有規律(lǜ)變化時，中大管徑(jìng)流量儀表常以适(shi)當系數修正。但有(you)些小流量儀表受(shòu)黏度等流體物🐪性(xing)影響大，須以實際(ji)使用流體校準。所(suo)幸流量小，用實際(ji)使用流體校準難(nán)度不大，但在作有(you)害性流體校準時(shi)應注意安全和環(huán)境污染。
3) 要求(qiú)測量時防止污染(ran)流體
若測量(liàng)潔淨氣體和純水(shui)常不允許接觸流(liu)體的儀表零件材(cái)料析出離子，例如(ru)半導體制備中儀(yi)表不👌能用金屬♈和(hé)玻璃制成，隻能用(yòng)塑料。流體中也不(bu)允許混入活動件(jian)的磨蝕塵粒。流量(liàng)儀表流通通道要(yao)🚩盡可能簡單，不應(yīng)有潴留 ( 指液(ye)體在體内不正常(chang)地聚集停留 ) 部位，防止潴留介(jiè)質變質。
4) 氣泡(pao)和塵埃附着的影(yǐng)響
因管徑小(xiao)黏性增加，液體中(zhōng)微細氣泡易在管(guan)系流動過🔞程中積(ji)聚變大，使測量時(shi)指示不穩，度下降(jiàng)。流體中塵埃附着(zhe)測量元件也要影(ying)響測量值，例如浮(fú)子流量計的浮🔞子(zi)上沉積有肉🌂眼覺(jiào)察㊙️不出的附着層(céng)也會影響示值。
5) 流量儀表品種(zhǒng)使用上受到一定(dìng)限制
在衆多(duō)測量原理流量儀(yi)表中，因各種原因(yin)小流量應👌用受到(dào)一些限制，當前能(neng)應用于小流量的(de)品種如表格所示(shì)