氣體(tǐ)流量監測(ce)傳感器

産品(pǐn)簡介：

FS4001系列(lie) 氣體流量(liàng)監測傳感(gan)器 是(shi)專門爲各(ge)類小流量(liàng)氣體的測(cè)量和過程(cheng)控制而✉️設(she)計的。這🌐一(yī)系列傳感(gǎn)器均采用(yòng)本公司自(zi)主研發的(de)微機電系(xì)統（ MEMS ）流(liú)量傳感芯(xin)片來制作(zuò)。

FS4001系列 氣體(tǐ)流量監測(cè)傳感器 适用于(yu)各類清潔(jie)氣體。*的封(fēng)裝技術使(shǐ)之可用于(yú)各類管徑(jing)，成☁️本🈲低、易(yi)安裝、不需(xu)要溫度壓(yā)力補償，可(kě)替代容積(jī)式或壓差(chà)式的傳統(tong)流量傳感(gǎn)器。

産品特(te)點：
  - 傳(chuan)感器靈敏(min)度高 , 有極小的(de)始動流量(liàng)
  - 傳感(gan)器芯片采(cǎi)用熱質量(liàng)流量計量(liàng) , 無需(xū)溫度壓力(lì)補償 , 保證了傳(chuán)
  - 感器(qi)的高精度(dù)計量
  - 在單個芯(xin)片上實現(xian)了多傳感(gǎn)器集成 , 使傳感(gǎn)器的量程(cheng)比大大提(tí)高
  - 傳(chuán)感器的零(ling)點穩定度(dù)高
  - 全(quán)量程高穩(wěn)定性
  - 全量程高(gāo)精确度和(he)優良的重(zhòng)複性
  - 低功耗
  - 低壓損(sun)
  - 響應(ying)時間快

機械尺(chǐ)寸：

主要參(cān)數：

性能參(cān)數	FS4001		單位
通(tong) 徑	1.0	1.8	mm
大流量(liàng)	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程比	>100：1
精(jīng) 度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xìng)	0.25		%讀數
零點(diǎn)輸出飄移(yí)	±30		mV
輸出飄移(yi)	±0.12		%/oC
響應時間(jian)	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源(yuan)	8~18Vdc,50mA
輸出方式(shi)	線性，RS232/模拟(ni)電壓0.5~4.5Vdc
大流(liu)量壓損	350	300	pa
大(da)工作壓力(lì)	0.5		MPa
工作溫度(du)	-10 ~ +55		oC
存儲溫度(dù)	-20 ~ +65		oC
工作濕度(du)	<95%RH（無結冰、無(wú)凝露）
機械(xiè)接口	可拆(chāi)式軟管接(jiē)頭
校準方(fāng)式	空氣（或(huò)其他氣體(ti)），20oC，101.325kPa
重量	15		g