FS4001系列實(shi)驗室氣(qi)體流量(liàng)傳感器(qì)

産品(pin)簡介：

FS4001系(xì)列實驗(yàn)室氣體(tǐ)流量傳(chuán)感器 是專(zhuān)門爲各(ge)類小流(liú)量氣體(tǐ)的測量(liàng)和過程(cheng)控制而(er)設計的(de)。這👉一系(xì)列傳感(gan)器均采(cai)用本公(gong)司自主(zhǔ)研發的(de)微機電(dian)♍系統（ MEMS ）流量(liang)傳感芯(xīn)片來制(zhi)作。

FS4001系列(liè)實驗室(shì)氣體流(liú)量傳感(gǎn)器 适用于(yú)各類清(qīng)潔氣體(tǐ)。*的封裝(zhuang)技術使(shǐ)之可用(yong)于各類(lei)管徑🔞，成(chéng)本低、易(yi)安裝、不(bu)需要溫(wēn)度壓力(lì)補償，可(ke)替代容(róng)積式或(huo)壓差式(shi)的傳⭕統(tǒng)流量傳(chuan)感器。

産品特(tè)點：
  - 傳感器(qì)靈敏度(dù)高 , 有極小(xiǎo)的始動(dòng)流量
  - 傳感(gǎn)器芯片(piàn)采用熱(rè)質量流(liú)量計量(liàng) , 無(wu)需溫度(dù)壓力補(bǔ)償 , 保證了(le)傳
  - 感器的(de)高精度(dù)計量
  - 在單(dan)個芯片(piàn)上實現(xiàn)了多傳(chuan)感器集(ji)成 , 使傳感(gan)器的量(liàng)程比大(da)大提高(gāo)
  - 傳(chuán)感器的(de)零點穩(wen)定度高(gao)
  - 全(quán)量程高(gao)穩定性(xing)
  - 全(quán)量程高(gao)精确度(du)和優良(liang)的重複(fú)性
  - 低功耗(hào)
  - 低(dī)壓損
  - 響應(ying)時間快(kuài)

機(jī)械尺寸(cùn)：

主要(yao)參數：

性(xing)能參數(shu)	FS4001		單位
通(tōng) 徑	1.0	1.8	mm
大流(liu)量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(chéng)比	>100：1
精 度(du)	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xìng)	0.25		%讀數
零(ling)點輸出(chu)飄移	±30		mV
輸(shū)出飄移(yi)	±0.12		%/oC
響應時(shi)間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuò)電源	8~18Vdc,50mA
輸(shu)出方式(shi)	線性，RS232/模(mó)拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc
大流量(liàng)壓損	350	300	pa
大(da)工作壓(ya)力	0.5		MPa
工作(zuò)溫度	-10 ~ +55		oC
存(cún)儲溫度(du)	-20 ~ +65		oC
工作濕(shī)度	<95%RH（無結(jié)冰、無凝(ning)露）
機械(xie)接口	可(ke)拆式軟(ruan)管接頭(tóu)
校準方(fāng)式	空氣(qi)（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa
重(zhong)量	15		g