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FS4001系(xì)列測量(liàng)氣體流(liú)量傳感(gǎn)器

産品(pin)時間：2025-12-15

簡(jiǎn)要描述(shù)：

FS4001系列測(cè)量氣體(tǐ)流量傳(chuan)感器是(shì)專門爲(wei)各類小(xiǎo)流量氣(qì)體的測(ce)量和過(guo)程控制(zhi)而設計(ji)的。這一(yi)系列傳(chuan)感器均(jun1)☂️采用本(běn)公司自(zì)📱主研發(fā)的微機(ji)電系統(tong)（MEMS）流量傳(chuán)感芯片(piàn)☎️來制作(zuò)，适用于(yú)各類清(qīng)潔氣體(tǐ)。

詳(xiáng)細介紹(shao)

簡介：

FS4001系(xì)列測量(liàng)氣體流(liu)量傳感(gan)器 是專門(men)爲各類(lèi)小流量(liang)氣體的(de)測量和(he)過程控(kong)制而設(shè)計的💋。這(zhe)一系列(lie)傳感器(qi)均采用(yòng)本公司(si)自主研(yan)發的微(wei)機電系(xì)統👄（ MEMS ）流量傳(chuán)感芯片(pian)來制作(zuo)。

産品(pǐn)特點：
- 傳感(gan)器靈敏(min)度高 , 有極(ji)小的始(shǐ)動流量(liàng)
- 傳(chuan)感器芯(xin)片采用(yong)熱質量(liang)流量計(jì)量 , 無需溫(wen)度壓力(li)補償 , 保證(zheng)了傳
- 感器(qì)的高精(jīng)度計量(liang)
- 在(zai)單個芯(xīn)片上實(shí)現了多(duō)傳感器(qi)集成 , 使傳(chuán)感器的(de)量程比(bi)大大提(ti)高
- 傳感器(qì)的零點(diǎn)穩定度(du)高
- 全量程(chéng)高穩定(dìng)性
- 全量程(chéng)高精确(què)度和優(yōu)良的重(zhòng)複性
- 低功(gong)耗
- 低壓損(sun)
- 響(xiǎng)應時間(jiān)快
主要參(can)數：

性能(neng)參數	FS4001		單(dān)位
通徑(jing)	1.0	1.8	mm
大流量(liàng)	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程比(bǐ)	>100：1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重(zhong)複性	0.25		%讀(dú)數
零點(diǎn)輸出飄(piāo)移	±30		mV
輸出(chū)飄移	±0.12		%/oC
響(xiǎng)應時間(jiān)	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電(dian)源	8~18Vdc,50mA
輸出(chū)方式	線(xian)性，RS232/模拟(nǐ)電壓0.5~4.5Vdc
大(dà)流量壓(yā)損	350	300	pa
大工(gōng)作壓力(li)	0.5		MPa
工作溫(wēn)度	-10 ~ +55		oC
存儲(chu)溫度	-20 ~ +65		oC
工(gōng)作濕度(du)	<95%RH（無結冰(bing)、無凝露(lù)）
機械接(jie)口	可拆(chāi)式軟管(guan)接頭
校(xiao)準方式(shi)	空氣（或(huò)其他氣(qi)體），20oC，101.325kPa
重量(liang)	15		g

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