産品時間(jiān)：2025-12-01
mf4001廣(guang)東微小口徑(jing)氣體質量流(liu)量計是專門(men)爲各類小⁉️流(liu)量氣📞體的測(ce)量和過程控(kong)制而設計的(de)。這一系列傳(chuán)感器均采用(yòng)本公司自主(zhǔ)研發的微機(ji)電系統（MEMS）流量(liang)傳感芯片來(lái)制作，适用于(yu)各類清潔氣(qi)體。*的封裝技(ji)術使之可用(yong)于各💁類管徑(jìng)，成本低、易安(an)裝、不需要溫(wen)度壓力補償(chang)，可替代容積(ji)式或壓差式(shi)的傳統流量(liàng)傳感器。
mf4001廣東微小口(kou)徑氣體質量(liang)流量計
産品特點：
-
傳感器靈(líng)敏度高
有極小的始(shǐ)動流量
傳感器芯片(pian)采用熱質量(liàng)流量計量
無需溫度(dù)壓力補償
,
保證了傳(chuán)
-
在單個(ge)芯片上實現(xian)了多傳感器(qi)集成
,
使(shǐ)傳感器的量(liàng)程比大大提(ti)高
-
傳感(gǎn)器的零點穩(wěn)定度高
全量程高穩(wen)定性
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全(quán)量程高精确(que)度和優良的(de)重複性
-
低功耗
-
響應時間快(kuài)
mf4001廣東微小口(kou)徑氣體質量(liàng)流量計 機械尺寸：
主要(yào)參數：
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性能參(cān)數 |
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單位 |
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通 徑(jìng) |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程(chéng)比 |
>100：1 |
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精 度 |
% |
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重複(fu)性 |
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±30 |
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輸(shu)出飄移 |
±0.12 |
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響應(yīng)時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電(dian)源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式(shi) |
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350 |
300 |
pa |
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大工作壓(yā)力 |
0.5 |
MPa |
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工作溫度(dù) |
-10 ~ +55 |
oC |
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-20 ~ +65 |
oC |
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工(gōng)作濕度 |
<95%RH（無結(jié)冰、無凝露） |
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機(jī)械接口 |
可拆(chai)式軟管接頭(tóu) |
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校準方式 |
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重量 |
15 |
g |
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86-020-31199948/85550363
86-020-85628533
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