産品時間(jiān):2025-12-01
mf4001廣(guang)東微小口徑(jing)氣體質量流(liu)量計是專門(men)爲各類小⁉️流(liu)量氣📞體的測(ce)量和過程控(kong)制而設計的(de)。這一系列傳(chuán)感器均采用(yòng)本公司自主(zhǔ)研發的微機(ji)電系統(MEMS)流量(liang)傳感芯片來(lái)制作,适用于(yu)各類清潔氣(qi)體。*的封裝技(ji)術使之可用(yong)于各💁類管徑(jìng),成本低、易安(an)裝、不需要溫(wen)度壓力補償(chang),可替代容積(ji)式或壓差式(shi)的傳統流量(liàng)傳感器。
mf4001廣東微小口(kou)徑氣體質量(liang)流量計
産品特點:
-
傳感器靈(líng)敏度高
,
有極小的始(shǐ)動流量
-
傳感器芯片(pian)采用熱質量(liàng)流量計量
,
無需溫度(dù)壓力補償
,
保證了傳(chuán)
-
感器的(de)高精度計量(liang)
-
在單個(ge)芯片上實現(xian)了多傳感器(qi)集成
,
使(shǐ)傳感器的量(liàng)程比大大提(ti)高
-
傳感(gǎn)器的零點穩(wěn)定度高
-
全量程高穩(wen)定性
-
全(quán)量程高精确(que)度和優良的(de)重複性
-
低功耗
-
低壓損
-
響應時間快(kuài)
mf4001廣東微小口(kou)徑氣體質量(liàng)流量計 機械尺寸:

主要(yào)參數:
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性能參(cān)數 |
FS4001 |
單位 |
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通 徑(jìng) |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程(chéng)比 |
>100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複(fu)性 |
0.25 |
%讀數 |
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零點(dian)輸出飄移 |
±30 |
mV |
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輸(shu)出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響應(yīng)時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電(dian)源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式(shi) |
線性,RS232/模拟電(dian)壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓(yā)損 |
350 |
300 |
pa |
|
大工作壓(yā)力 |
0.5 |
MPa |
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工作溫度(dù) |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工(gōng)作濕度 |
<95%RH(無結(jié)冰、無凝露) |
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機(jī)械接口 |
可拆(chai)式軟管接頭(tóu) |
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校準方式 |
空(kong)氣(或其他氣(qi)體),20oC,101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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