産(chan)品時間：2025-12-15
微(wēi)小氣體流(liu)量計FS4001專門(mén)爲各類小(xiǎo)流量氣體(ti)的測量和(he)過🌂程控制(zhì)而設計的(de)。這一系列(liè)傳感器均(jun1)采用本💜公(gōng)司自主研(yán)發的微機(ji)電系統（MEMS）流(liu)量傳感芯(xīn)片來制作(zuò)，适用于各(ge)類清潔氣(qi)體。*的封裝(zhuang)技術💯使之(zhī)可用于各(gè)類管徑，成(chéng)本低、易安(ān)裝、不需要(yao)溫度壓力(li)補償，可🚶替(tì)代容積式(shì)或壓差式(shì)的傳統流(liu)量傳感器(qi)。
微小氣體(ti)流量計FS4001
産品簡(jian)介：
）流量傳(chuan)感芯片來(lai)制作，适用(yong)于各類清(qīng)潔氣體。*的(de)封裝⛹🏻♀️技🛀🏻術(shu)使之可用(yong)于各類管(guǎn)徑，成本低(dī)、易安裝、不(bu)需要溫度(dù)壓力補償(chang)，可替代容(róng)積式或壓(yā)差式的傳(chuán)統⛹🏻♀️流量傳(chuán)感器。
微小(xiǎo)氣體流量(liang)計FS4001
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傳感器(qi)靈敏度高(gao)
有極(jí)小的始動(dòng)流量
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傳感器芯(xin)片采用熱(rè)質量流量(liàng)計量
,
無需溫度(dù)壓力補償(cháng)
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感器的高(gao)精度計量(liang)
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在單(dān)個芯片上(shàng)實現了多(duō)傳感器集(jí)成
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傳感器(qi)的零點穩(wen)定度高
全量程(cheng)高穩定性(xìng)
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全量(liang)程高精度(dù)和優良的(de)重複性
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低功耗(hào)
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低壓(yā)損
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響(xiang)應時間快(kuài)
主要參數(shù)：
FS4001系列微小(xiao)流量計
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性能參(cān)數 |
FS4001 |
單(dān)位 |
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徑 |
1.0 |
1.8 |
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大流量(liang) |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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精(jīng) |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性(xìng) |
0.25 |
% 讀數(shù) |
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零點(dian)輸出飄移(yí) |
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mV |
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輸出(chu)飄移 |
±0.12 |
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
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工作(zuo)電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式(shi) |
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300 |
pa |
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大(dà)工作壓力(li) |
0.5 |
MPa |
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-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度(dù) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作(zuò)濕度 |
<95%RH （無結冰、無(wu)凝露） |
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機械接口(kou) |
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空氣（或(huo)其他氣體(tǐ)）， 20oC ， 101.325kPa |
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g |
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