産品時(shí)間：2025-12-15
氣(qì)體檢測(ce)/測漏流(liu)量計傳(chuán)感器靈(líng)敏度高(gāo),有極小(xiǎo)的始動(dong)流量
- 傳(chuán)感器芯(xīn)片采用(yong)熱質量(liang)流量計(jì)量,無需(xu)溫度壓(yā)力補償(cháng),保證了(le)🏒傳
- 感器(qi)的高精(jing)度計量(liàng)
- 在單個(ge)芯片上(shang)實現了(le)多傳感(gan)器集成(chéng),使傳感(gǎn)器的量(liàng)⛹🏻♀️程比大(da)大提高(gāo)
- 傳感器(qi)的零點(diǎn)穩定度(dù)高 全量(liàng)程高穩(wěn)定性
氣(qi)體檢測(cè)/測漏流(liú)量計
産(chan)品簡介(jiè)：
FS4001系列小(xiǎo)流量氣(qi)體質量(liàng)流量傳(chuan)感器是(shì)專門爲(wèi)各類⛷️小(xiao)流量氣(qi)體的測(ce)量和過(guo)程控制(zhi)而設計(jì)的。這一(yi)系列傳(chuan)感器均(jun1)采用本(běn)公司自(zi)主研發(fā)的微機(ji)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳(chuan)感芯片(pian)來制作(zuo)，适用于(yu)各類清(qīng)🙇♀️潔氣體(ti)。*的封裝(zhuang)技術使(shǐ)之可用(yong)于各類(lèi)管徑，成(chéng)本低、易(yì)🔱安裝、不(bú)需要溫(wēn)度壓力(li)補償，可(ke)替代🔞容(róng)積式或(huò)壓差式(shi)的傳統(tǒng)流量傳(chuan)感器。
氣(qi)體檢測(cè)/測漏流(liu)量計産(chǎn)品特點(dian)：
- 傳感器(qi)靈敏度(dù)高,有極(ji)小的始(shǐ)動流量(liang)
- 傳感器(qi)芯片采(cai)用熱質(zhì)量流量(liang)計量,無(wu)需溫度(du)壓力補(bu)償,保證(zhèng)了傳
- 感(gan)器的高(gao)精度計(ji)量
- 在單(dān)個芯片(pian)上實現(xiàn)了多傳(chuán)感器集(jí)成,使傳(chuan)感器的(de)量程比(bǐ)大大提(tí)高
- 傳感(gǎn)器的零(ling)點穩定(ding)度高
- 全(quan)量程高(gāo)穩定性(xing)
- 全量程(cheng)高精确(què)度和優(yōu)良的重(zhong)複性
- 低(dī)功耗
- 低(dī)壓損
- 響(xiang)應時間(jiān)快
主要(yào)參數：
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性(xing)能參數(shu) |
FS4001 |
單位 |
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通(tōng) 徑 |
1.8 |
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500, 1000 |
SLPM |
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2132132132131231312100:1 |
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精 度(du) |
±（1.5+0.2FS） |
% |
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重複性(xìng) |
0.25 |
%讀數 |
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零(líng)點輸出(chu)飄移 |
±30 |
mV |
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輸(shū)出飄移(yi) |
±0.12 |
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作(zuò)電源 |
8~18Vdc,50mA |
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線性，RS232/模(mo)拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc |
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zui大流量(liàng)壓損 |
350 |
300 |
pa |
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zui大(dà)工作壓(yā)力 |
0.5 |
MPa |
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工作(zuò)溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存(cún)儲溫度(du) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕(shi)度 |
<95%RH（無結(jié)冰、無凝(ning)露） |
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可(ke)拆式軟(ruǎn)管接頭(tóu) |
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校準方(fang)式 |
空氣(qi)（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa |
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重(zhong)量 |
15 |
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