産品(pǐn)簡介：
FS4001系列小(xiao)流量氣體質(zhi)量流量傳感(gan)器
是專門爲(wei)各類小流量(liàng)氣體的測量(liàng)和過程控制(zhi)而設計的‼️。這(zhè)一系列傳感(gǎn)器均采用本(běn)公司自主研(yan)發💘的微機電(diàn)系統（MEMS）流量傳(chuan)感芯片來制(zhi)作，适用于各(ge)類清潔氣體(ti)。*的封裝技術(shu)使之可用于(yú)各類管徑，成(chéng)本低、易安裝(zhuang)、不需要溫度(du)壓力補償，可(ke)替代容積式(shi)或⭐壓差式的(de)傳統流量傳(chuan)感器。
産品特(tè)點
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FS4001系列(liè)小流量氣體(tǐ)質量流量傳(chuán)感器
靈敏度(dù)高,有小的始(shi)動流量傳感(gǎn)器芯片采用(yòng)熱質量流量(liàng)❗計量,無需溫(wēn)度壓力補償(chang),保證了傳感(gǎn)器的高精度(du)計量在單個(ge)芯片上實現(xian)了多傳感器(qi)集成,使傳感(gǎn)㊙️器的量程比(bǐ)大🚩大提高🤩傳(chuan)感器的零點(diǎn)穩定度高全(quan)量程高穩定(dìng)性全量程♌高(gāo)精确度和優(you)良的重複性(xing)低功耗低壓(ya)損響應時間(jiān)快
主要參數(shù)：
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性能參數
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FS4001
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單(dān)位
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通 徑
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1.0
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1.8
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mm
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大流(liu)量
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30, 100, 200
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500, 1000
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SCCM
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量程比
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≥100:1
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精(jing) 度
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±(1.5+0.2FS)
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%
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重複性
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0.25
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%讀(du)數
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零點輸出(chu)飄移
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±30
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mV
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輸出飄(piao)移
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±0.12
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%/oC
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響應時間(jian)
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131
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mses
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工作電源
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8~18Vdc,50mA
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輸(shu)出方式
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線性(xing)，RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc
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大(da)流量壓損
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350
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300
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pa
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大(da)工作壓力
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0.5
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MPa
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工(gong)作溫度
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-10 ~ +55
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oC
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存儲(chǔ)溫度
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-20 ~ +65
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oC
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工作濕(shī)度
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<95%RH（無結冰、無(wu)凝露）
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機械接(jie)口
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可拆式軟(ruǎn)管接頭
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校準(zhun)方式
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空氣（或(huo)其他氣體），20oC，101.325kPa
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重(zhong)量
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15
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g
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機械尺寸(cun)：
